UP超纯水电阻率18.25MΩ.cm@25℃，水质达到美国CAP、ASTM、NCCLS标准及中国国家电子一级超纯水标准；

可溶性硅[以（SiO2）计]＜0.01mg/L

吸光度（254nm,1cm光程）≤0.001

微粒子/颗粒物（大于0.1μm）含量＜1/ml

热源含量＜0.005Eu/ml

微生物/细菌含量＜0.1cfu/ml

总有机碳量TOC≤3ppb

硅截留率99.9%

金属阳离子含量（单位PPb）：

Fe(铁)＜0.005 Cu(铜)＜0.005

Al(铝)＜0.005 Ni(镍)＜0.005

Zn(锌)＜0.02 Cr(铬)＜0.005

Na(钠)＜0.01 K(钾)＜0.02

阴离子含量(单位PPb):

Cl^-(氯)＜0.01 NO₂^-(亚硝酸根)＜0.02

NO₃^-(硝酸根)＜0.02 SO₄^2-(硫酸根)＜0.01