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高纯硅烷电子气体 全国发货 鲁东气体厂家直销

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青岛鲁东气体有限公司
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硅烷

 

硅烷即硅与氢的化合物,是一系列化合物的总称,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一种高危险性的气体。

 

生产工艺:主要三种:硅镁合金法工艺(小松法);氯硅烷歧化工艺(UCC);金属氢化物工艺(MEMC法)三种。本公司硅烷生产工艺为氯硅烷歧化工艺(UCC)同REC工艺一致。

应用方式:气相沉积、外延生长、镀膜、扩散等工艺。 

包装方式:

1. Y瓶(470L约125KG,常温下压力约130KG),用于一般用途。

2. 管束车(又称鱼雷车,20尺8管约2.8吨,压力约110KG左右),用作大批量运输和使用。

3. 另有12KG小包装气瓶

储存:

1.在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。

2.存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源,储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft 。

3.或者在中间放置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障,以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。

4.存储温度不可高于125℉(52℃)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间过长。

5.使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备。

硅烷展示.jpg

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