描述：硅烷(SiH4)是一种无色，可燃性气体，有类似于乙酸的气味。（数据表明，硅烷不是在所有的情况下都会自燃）。

应用

主要应用于半导体、FTF-LCD 、太阳能电池片及节能玻璃之化学气相沉积（CVD )薄膜制程。

在半导体上的用途是以Si 为主的成膜，而在TFT-LCD 上则用于玻璃基板上的非晶硅成膜

另用于太阳能电池片则是形成抗反射膜以提高发电效率；