广州市尤特新材料有限公司
中国集成电路材料现状如何?靶材是薄膜制备的关键原料之一,半导体在靶材应用中约占10%。2016年靶材市场增速达到20%,2017年-2019年仍将保持复合增速13%,到2018年全球靶材市场空间达到983亿元,超越全球金属钴和碳酸锂合计941亿元的市场,未来潜力巨大。高纯金和高纯银因具有接触电阻小,热阻低,热效应力小和可靠性高等优点,其靶材材料广泛应用于背面金属化系统、汽车工业、高温材料和生物医学中。
“半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术及产业化”取得重大突破,建立了生产线并取得良好经济效益,镍铂靶材替代了进口产品并远销海外。国内靶材等半导体材料的企业,实现了高纯金属、靶材一体化运营,在高纯金属、铜靶材、钴靶材等产品上实现了技术突破。并成功进入到国外一流集成电路企业的供应链。