格里尔斯GRYLLS-C-310系列模拟量质量流量计/控制器（小量程）技术参数：

量程范围：5SCCM ～ 30SLM

准确度：±1.0%F.S

温度：±1℃

线性：±0.5%F.S

重复精度：±0.2%F.S

响应时间：<2s <1.5s

模拟量：0 ～ 5V、4 ～ 20mA

供电：±15VDC，24VDC

工作温度：0 ～ 50℃

工作压差：0.05 ～ 0.5MPa 

工作压降：<30Kpa

耐压：3MPa/10MPa

电气连接：DB15 孔

漏率：1×10-9SCCSHe

温度系数：±0.015%F.S/℃

底座材质：316L

密封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶

接头：φ3，φ6，1/8"，1/4"

GRYLLS-C-310系列 质量流量控制器由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。

【005C】5SCCM 【010C】10SCCM 【020C】20SCCM 【030C】30SCCM

【050C】50SCCM 【100C】100SCCM 【200C】200SCCM 【300C】300SCCM

【500C】500SCCM 【001L】1SLM 【002L】2SLM 【003L】3SLM

【005L】5SLM 【010L】10SLM 【020L】20SLM 【030L】30SLM