铝钛(AlTi)合金靶材 真空镀膜用溅射靶材

产品类别 铝合金靶材

产品名称 铝钛（AlTi）合金靶材

元素符号 Al Ti

纯度 2N8

形状 平面靶

描述：铝钛合金是银白色的金属，它具有许多优良性能。钛的密度为4.54g/cm3，比钢轻43% ，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。钛，熔点1942K，比黄金高近1000K，比钢高近500K。

铝钛合金是一种真空镀膜用溅射靶材，在该合金中通过调配铝与钛的可以获得不同特性的铝钛合金靶材。铝钛金属间化合物属于硬脆材料，具有很好的性，在普通刀具表面覆着一层铝钛金属间化合物，可以延长刀具的使用时间[如配氮气放电起弧实施溅射，可以获得高硬度低摩擦系数表面膜，因此在机械加工行业具有较好的应用前景。我们生产过程的灵活性允许调整我们的涂层材料的微观结构，您想要的效果。如果溅射靶材的晶粒均匀排列，则使用者可受益于恒定的腐蚀速率和均匀的层。下图是我们的铝钛（70/30 At％）溅射靶的两张显微照片，平均晶粒尺寸100μm。

铝钛合金靶材制备工艺流程

备料 - 热等静压 - 化学分析 - 退火 - 金相检测 - 机加工 - 尺寸检测 - 清洗 - 终检 - 打标 - 包装 - 发货

铝钛合金靶材及其制备方法

将铝粉和钛粉在入V型混料机中混料，再将粉体置于冷等静压包套中，抽真空后密封，10~20分钟，然后置于真空自蔓延高温合成炉中，进行自蔓延反应，获得泡沫状铝钛合金。将合金粉碎成为-200目的合金粉体，置于冷等静压包套中进行，获得铝钛合金坯。将合金坯置于钢包套中，进行真空脱气处理，再进行热等静压烧结处理获得铝钛合金锭坯，机加工得到铝钛合金靶材成品。此制备的铝钛合金靶材致密度高，晶粒大小分布均匀。

以下是客户经常购买的氮化物靶材，如有金属溅射靶材的需要请来咨询我们。

氮化铝(AlN)	氮化铪(HfN)	氮化硅(Si3N4)
氮化硼(BN)	氮化铌(NbN)	氮化钽(TaN)

氮化钛(TiN)	氮化锆(ZrN)
氮化钒(VN)

温馨提示：西安齐岳生物提供的所有产品仅用于科研，axc.2021.01.20