镍铂（NiPt）合金靶材银灰色金属靶材纯度3N3N5

产品类别：镍合金靶材

产品名称：镍铂（NiPt）合金靶材

元素符号：Ni Pt

纯度；3N、3N5

形状：平面靶 异型定制

描述：镍铂合金靶材是一种银灰色金属靶材，熔点1400-1650°C；密度18.63克/厘米3；电阻率29.8 μΩ·cm（20°C）。

镍铂合金靶材制备方法

用镍和铂作为原料。原料在坩埚中进行高温熔炼成镍铂合金锭；采用真空电子束将镍铂合金锭熔炼成高纯镍铂合金锭；对高纯镍铂合金锭进行径向热锻和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行纵向墩粗和退火处理；对高纯镍铂合金锭进行热轧，冷轧和再结晶退火处理，形成镍铂合金靶坯；对镍铂合金靶坯进行机械加工，形成镍铂合金靶材。通过高温熔炼，真空电子束熔炼，径向热锻和退火处理，纵向墩粗和退火处理，热轧冷轧和再结晶退火处理等步骤，获得了成分均匀，纯度高，晶粒细小，氧含量低的镍铂合金靶材。这样的靶材利于获得厚度均匀，颗粒少的高质量的薄膜.

镍铂合金靶材应用领域

镍铂合金靶材应用于半导体工业。通过磁控溅射，镍铂合金靶材在硅器件表面沉积并反应生成镍铂硅化物薄膜，实现半导体接触及互连。

产品名

元素符号

纯度

铜镓合金靶材	Cu Ga	4N, 5N
铜铟合金靶材	Cu In	4N, 5N
铜铟镓合金靶材	Cu InGa	4N, 5N
钛铝合金靶材	Ti Al	2N8
镁铝合金靶材	Mg Al	3N5
铝硼合金靶材	Al B	3N~5N
铝铜合金靶材	Al Cu	3N~5N
铝硅合金靶材	Al Si	3N~5N

温馨提示：西安齐岳生物提供的所有产品仅用于科研，axc.2021.01.19