三甲基氯硅烷为无色透明液体，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生氯化氢。硅-卤键化合物。在工业上，已形成规模生产能力，一般采用氯甲烷和硅粉在催化剂作用下直接合成，经分馏得到纯品。