研磨液优点
调制磨料
* 含特种极压润滑添加剂,研磨过程中降温,及时冷却刀具,可显著减少刀具磨损;
* 采用高分子水/油溶性防锈剂,对设备及工件有极好的防锈性;
* 低泡沫倾向,清洗性能好,代替传统乳化油(又称皂化油、太古油)
* 透明度高,有利于监察工件的表面加工状态
* 使用寿命长,一年以上更换期,符合环保要求,减少浪费,提高生产效率。
* 对操作工人皮肤无伤害、及机台油漆无影响,且有保护作用。
产品特点:
1.分散性好、不结晶 。
2.粒径分布广泛:5-100nm。
3.高纯度(Cu2+含量小于50 ppb),有效减小对电子类产品的沾污。
4.经特殊工艺合成的化学机械抛光液,纳米颗粒呈球形,单分散,大小均匀,粒径分布窄,可获得高质量的抛光精度。
5.适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。
6.PH、粒径、稳定离子等可以根据客户定制(10-150 nm)
抛光过程中具有:
1.高抛光速率,利用大粒径的胶体二氧化硅粒子达到高速抛光的目的。(可以生产150 nm)。
2.高平坦度加工,本品抛光是利用SiO2的胶体粒子,不会对加工件造成物理损伤,达到高平坦化加工。
抛光过程后具有:
1.精度可以达到A级
碱性型号(pH:9.8±0.5) |
SOQ-2A |
SOQ-4A |
SOQ-6A |
SOQ-8A |
SOQ-10A |
SOQ-12D |
||
酸性型号(pH:2.8±0.5) |
ASOQ-2A |
ASOQ-4A |
ASOQ-6A |
ASOQ-8A |
ASOQ-10A |
ASOQ-12D |
||
粒径(nm) |
10~30 |
30~50 |
50~70 |
70~90 |
90~110 |
110~130 |
||
外观 |
乳白色或半透明液体 |
|||||||
比重 |
1.15±0.05 |
|||||||
组成 |
成份 |
含量(w%) |
抛光压力 |
150~250g/cm2 |
||||
SiO2 |
15~30 |
抛光温度 |
32~40℃ |
|||||
Na2O |
≤0.3 |
稀释率 |
<1:1~20 |
|||||
重金属杂质 |
≤50 ppb |
抛光时间 |
3~6 min |