美国艾利卡特ALICAT低压损气体质量流量控制器 ＭＣＷ系列采用专利技术的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。 

ＭＣＷ系列具有超低压损，满量程压损可达360Pa。ＭＣＷ系列可用于快速地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。

精度升级

量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，

其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：

质量流量普通精度      ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

质量流量高精度         ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）

重复性                       ±（0.1%   读数 + 0.02% 满量程）

质量流量零点漂移      ± 0.03% 满量程 / ℃温差

                                  ± 0.01% 满量程 / Atm压力差

质量流量量程漂移      ± 0.01% 读数 / ℃温差

                                  ± 0.1 % 读数 / Atm压力差



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两个常见的传统方法为1.与色散光的物理扫面组合在一起的单个元件（或单点）探测器，以及2.将色散光成像于一个探测器阵列上。在种方法中，来自光栅的色散光被聚焦在单个探测器上。为了分析多个波长上的功率，光栅（通常情况下如此）或者聚焦元件必须适当地旋转，以便将来自每个波长的光调节到探测器上。要执行扫描，与探测器相关的电子元器件必须与光栅的运动同步，这样的话，测得的功率就与正确的波长相一致。这就要求机械旋转系统非常，并因此在体积方面变得十分庞大，而这也限制了这个方法在实验室之外的实用性。