北京芯笙微纳电子科技有限公司
美国艾利卡特ALICAT双向型气体质量流量控制器采用内部补偿型层流压差专利技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。双向型质量流量控制器可通过定制化的高速比例调节阀，正向或反向测量与控制过程气体的质量流量、体积流量和压力。采用双阀门设计模式，一台阀门专门用于控制进气、另一台用于排气，实现了仅用一台设备便可同时控制开放式或密闭容器内上游、下游端流量，以及正压、背压。
江西国产质量流量控制器艾利卡特ALICAT-MCS总代理
性能指标
介质要求：非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类：内置了98种气体，请参考“产品资料”气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量程：从-0.5SCCM～0.5SCCM 到-3000SLPM～3000SLPM
量程比：200:1
显示流量：-FS～FS
显示屏：带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式：同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精度：± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-双向满量程
高精度：±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配
仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备
重复性：± 0.2% FS
零点漂移&满量程漂移：0.02% FS / ?C / Atm
响应时间：100ms(可调) 预热时间：<1s
标定工况：25?C & 100kPa 绝压、20?C & 100kPa 绝压、0?C & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)
工作温度：-10 ～ +50 ?C
工作湿度：0-,无冷凝
标准工作压力：1MPa 表压
标准极限耐压：1.2MPa 表压
中压选项：2MPa
江西国产质量流量控制器艾利卡特ALICAT-MCS总代理
数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*
模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度
供电电压：7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)
供电电流：250mA ～ 750mA
电气接口：8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头
材质：302不锈钢、Viton、RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、 硅、 玻璃
安装方式：对位置无要求 防护等级：IP40
