x射线荧光膜厚测试仪是一款上照式全元素光谱分析仪，可测量纳米级厚度、微小样品和凹槽异形件的膜厚，也可满足微区RoHS检测及多元素成分分析，先进的算法及解谱技术解决了诸多业界难题。被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。多孔毛细管光学聚焦装置，有效缩小测量点斑点的同时，可数倍乃至数十倍提高X射线激发强度。配备大面积的SDD（硅漂移探测器），有效拓展元素分析范围，适应严格的微区、超薄镀层，以及痕量元素分析需求。

稳定的X射线管

微聚焦50瓦Mo靶射线管（其它靶材可选）; 小于100um的测量斑点

射线出射点预置于射线管Be窗正中央

长寿命的射线管灯丝

的预热和ISO温度适应程序

多毛细管聚焦光学结构

显著提高X射线信号强度

获得较准直器机型数倍乃至数十倍的信号强度

小于100um直径的测量斑点

经过验证，接近完美的测量精度

应用领域：

常见的镀层应用:

PCB行业

Au/Pd/Ni/Cu/PCB

引线框架

Ag/Cu

Au/Pd/Ni/CuFe

半导体行业

Pd/Ni/Cu/Ti/Si-晶元基材

Au/Pd/Ni/Cu/Si晶元基材