北京芯笙微纳电子科技有限公司
ALICAT 气体质量流量计 MSQ系列
量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，优于1%的精度，测量范围广，优于10 ms响应时间
美国ALICATmsq系列标准型质量流量计，采用专利技术的内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的MSQ系列数字式质量流量计可用于快速地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合。 
数字化产品
多参数显示和输出：温度、压力、流量等
可选高精度：可优于0.5%
可测范围广，0.01~
响应时间快，优于10ms
内置98种气体
可现场标定混合气体，并存储20种混合气
量程为0.5 SCCM -6000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或± 0.1% 满量程（取值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃温差
± 0.1 %读数/ Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
测量范围 0.01～
显示流量 128 % 满量程
显 示 屏 带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ± （0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程）见上段精度升级部分
± （0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加± 0.5 %额外误差
重 复 性 ± （0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度漂移 0.02 %满量程当温度从25 ℃起每变化1 ℃
质量流量压力漂移 ± （0.08 % 读数 + 0.02 % 满量程）当压力从标定压力起，每变化1bar
响应时间 优于10 ms
预热时间 <1 s
标定工况 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95%，无冷凝
工作压力 1 MPa 表压（可选2 MPaG高压系列）
操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.5 % 读数（读数＞1 Atm），或 ± 0.07 PSIA（＜1Atm）
进出口压差 0.5MPa
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 量程误差
供电电压 7-30 VDC （如选4 - 20 mA输出，须为15 - 30 VDC）
供电电流 40 mA，80 mA（4 - 20 mA 或 0 - 10 VDC）
电气接口 DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302不锈钢、Viton、RTV、玻璃增强尼龙、铝
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
