千斗工业品-专注生产检测设备、电子测试设备、理化分析仪器、计量工具、工业控制仪表等日本与韩国工业品一站式代购与销售，如有需要可直接致电咨询。

我们公司再日本与韩国设有采购办事处，与多个厂家有业务来往，采购工业品厂家直接供货价格方面有一定优惠。如果您需要的工业品确定是日本或是韩国，就可以向我们千斗工业设备咨询价格。

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日本lasertec 白色光共聚焦扫描显微镜 optelics HYBRID+C3

特定

白光共聚焦：具有24bit真彩观察，宽视野观察与测试，可根据样品特性选择合适的滤光片选择合适的波长。

白光共聚焦与一般激光显微镜相比视野范围扩大1.6倍，使用低倍镜也能达到高分辨率测试，使用接近太阳的白色光源得到高焦点深度的高精细彩色画像。另外HYBRID＋具备波长切换功能，用户可选择测试所需的最适波长范围。适用于单色光无法测定的样品，如IC芯片设计PI膜无法被蓝光穿透，蓝光观察只获得表面层形貌；用红光可以清晰的观察到膜下方的结构。

光刻胶、UV光固化树脂、有机膜等会被特定波长的光线破坏的样品，需选择最适波长进行观察与测试。

特征

激光共焦和白色舒适融合

<提高可用性和效率的完整选项>
硬件选项

• 大规模兼容的特殊舞台

• 自动加载磁带机　新

• 样品架

软件选项

• 自动测量软件（LIBRA）

• 自动缺陷检查软件（LMInspect）

• 人工智能检查深度学习（LMBrain）新

采用

<各种材料的观察和形状测量>

可以进行非接触和非破坏性的形状测量，并可以观察到毫微米级到纳米级。我们可以处理广泛的工业领域中的各种样品。

工业领域

• 半导体材料（Si，Sic，抗蚀剂），设备，电子组件

• MEMS，微机械零件，涂层材料

• 薄膜，有机/无机材料，光学组件，薄膜

生物领域

• 微流路

• 异物，例如导管，划痕

它可以用于从研发到接近批量生产的领域。

规范

观察功能	激光共焦，白色共焦，微分干涉观察，全色观察
测量功能	高度测量，宽度测量，表面粗糙度测量，形状特征测量，光学干涉测量，反射光谱膜厚度测量
波长选择	激光：405nm白色：436nm，486nm，514nm，546nm，578nm，633nm
测量精度（高度测量）	精度：±（0.11 + L / 100）μm 重复性（σ）：10nm
测量精度（宽度测量）	精度：±{0.02x（100 /物镜放大倍率）+ L / 1000}μm重复性 （3σ）：10nm
帧率	15Hz至120Hz
新安装的软件新	LM图表，过滤器辅助，Office报告，奇异性提取软件，LMBrain
选项	硬选项：大型/特殊工作台，自动装载器， 样品架，控制台 软件选项：自动测量（LIBRA），自动缺陷测量（LMInspect）