高纯铝及铝合金是目前使用广泛的导电层薄膜材料之一。和超大规模集成电路芯片的制造对溅射靶材金属纯度的要求相比，太阳能电池用铝靶的金属纯度略低，99.995%（4N5）以上。目前制备薄膜电池较为常用的溅射靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及ITO靶、AZO靶(氧化铝锌)等。铝靶、铜靶用于导电层薄膜，钼靶、铬靶用于阻挡层薄膜。

光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和HIT光伏电池。其中光伏薄膜电池用靶材主要为方形板状，纯度要求一般在99.99%（4N）以上，仅次于半导体用靶材。HJT量产的关键点在于PECVD。2019年海外应材和梅耶博格的PECVD价格接近5亿元/GW，设备虽然成熟但价格太高，整线的设备投资达到7-8亿元。对比海内外四大设备，海外设备较为成熟，但核心设备价格较高不具备量产经济性。