1. 用作半导体掺杂剂及高纯磷的原料。在整个电路生产的工艺过程中，三氯化磷的质量对控制沾污、提高集成电路成品率起着重要作用。[2]

2. 主要用作制造敌百虫、敌敌畏、甲胺磷、乙酰甲胺磷、稻瘟净等有机磷农药的原料。也是制造三氯硫磷、三氯氧磷、亚磷酸、磷酸三苯酯和磷酸三酚酯的原料。医药工业用于生产磺胺嘧啶，磺胺五甲氧嘧啶等的中间体。染料工业作缩合剂，用于生产色酚类染料。还用作生产香料的氯化剂和催化剂。[2]

3. 三氯化磷是一种氯代试剂，能够与氧杂、氮杂、硫杂、双烯等化合物剧烈反应，也可与有机金属化合物、金属盐反应，是合成含磷金属配体的磷源。[2]

4. 用于制造有机磷化合物，也用作试剂等