厦门市盈鑫丰进出口有限公司供应日本EBARA荏原干式真空泵 涡轮泵

EBARA干式真空泵

EBARA是“干式”真空泵设计和制造的全球领导者。 EB原干式真空泵具有许多产品优势，包括：

提高可靠性

减少洁净室颗粒负荷

低噪声

低振动

降低运营成本

与当今市场上的其他干式真空泵相比，拥有成本最低。

多样化的产品线使原市成为真空减排技术和服务的行业领导者。 原的干式真空泵在LPCVD，PECVD，CVD和金属蚀刻等最苛刻的应用环境下仍然可以承受。 EBARA的干式泵也非常适合半导体行业中的许多应用，以及任何不允许回油的应用。

--EV-A型干式真空泵

EV-A型风冷干式真空泵具有行业领先的规格。 非接触式，多级根部设计用于可靠，无颗粒的真空产生。 EV-A干泵的典型应用包括要求真空性能和运行时间的负载锁，分析仪器和计量设备。

EV-A干式真空泵是理想的替代品

更换湿泵：无需再频繁更换机油或进行昂贵的维修

更换涡旋泵：消除了顶部密封和轴承更换的麻烦，基本压力漂移

特点和优点小型空冷泵无接触设计在大气中泵送速度高水蒸汽泵送任何空冷干泵的UL, CE，和NRTL额定的单和三相版本可用应用负载锁分析仪器(LCMS, ICPMS)电子显微镜PVD系统氧等离子系统

--风冷-EV-PA型

EV-PA型超紧凑型风冷干泵系列。无油，高效节能且无年度维护要求，该泵是更换嘈杂和高维护涡旋和湿式油泵的理想解决方案。该泵具有较低的拥有成本和较高的投资回报率（ROI）。重量仅为9千克，重量轻，非常适合小型台式机或移动系统。设计用于所有轻型应用：负载锁，电子显微镜，质谱和其他分析仪器。