厦门市盈鑫丰进出口有限公司供应日本EBARA荏原干式真空泵 涡轮泵

EBARA干式真空泵

EBARA是“干式”真空泵设计和制造的全球领导者。 EB原干式真空泵具有许多产品优势，包括：

提高可靠性

减少洁净室颗粒负荷

低噪声

低振动

降低运营成本

与当今市场上的其他干式真空泵相比，拥有成本最低。

多样化的产品线使原市成为真空减排技术和服务的行业领导者。 原的干式真空泵在LPCVD，PECVD，CVD和金属蚀刻等最苛刻的应用环境下仍然可以承受。 EBARA的干式泵也非常适合半导体行业中的许多应用，以及任何不允许回油的应用。

--风冷-EV-PA型

EV-PA型超紧凑型风冷干泵系列。无油，高效节能且无年度维护要求，该泵是更换嘈杂和高维护涡旋和湿式油泵的理想解决方案。该泵具有较低的拥有成本和较高的投资回报率（ROI）。重量仅为9千克，重量轻，非常适合小型台式机或移动系统。设计用于所有轻型应用：负载锁，电子显微镜，质谱和其他分析仪器。

--风冷-EV-A型

EV-A型系列风冷干式真空泵具有行业领先的规格。非接触式多级根部设计用于可靠，无颗粒的真空产生。EV-A干泵的典型应用包括要求真空性能和正常运行时间的负载锁，分析仪器和计量设备。

--ESA 200-500型

ESA系列涵盖了从88到1765 CFM的广泛抽速范围。ESA泵的设计和制造是当今市场上拥有成本最低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一种固态铸造材料，以其优异的耐腐蚀性而闻名。

--EV-M型

EV-M干式真空泵系列专为苛刻的过程应用而设计，具有独特的温度控制和按需转矩运行能力，泵速从2,000 Lit / min到80,000 Lit / min。EV-M系列能够处理苛刻和轻载的应用。该系列旨在比以前的泵消耗更少的功率。根部转子装置与高扭矩电动机和逆变器的结合使EV-M系列具有更高的能效，是苛刻工艺应用的理想解决方案。

--EST型

EST系列涵盖了从88到1765 CFM的广泛抽速范围。EST泵的设计和制造是当今市场上拥有成本最低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一种固态铸造材料，以其优异的耐腐蚀性而闻名。

--EV-S型

EV-S系列泵是节能型真空泵，适用于清洁至轻载过程。抽速范围为58至710 CFM，极限压力低至3 mTorr。

--ESA 25-100型

ESA系列涵盖了从88到1765 CFM的广泛抽速范围。ESA泵的设计和制造是当今市场上拥有成本最低的泵。主泵由NiResist制成，NiResist是一种固态铸造材料，以其优异的耐腐蚀性而闻名。

--ESR型

ESR系列（节能型罗茨泵）是多级干式真空泵，设计用于从清洁到中负荷工艺的各种应用。ESR系列的泵速范围从35到1,625 CFM，极限压力低至1 mTorr。

--风冷-EV-PA型

EV-PA型超紧凑型风冷干泵系列。无油，高效节能且无年度维护要求，该泵是更换嘈杂和高维护涡旋和湿式油泵的理想解决方案。该泵具有较低的拥有成本和较高的投资回报率（ROI）。重量仅为9千克，重量轻，非常适合小型台式机或移动系统。设计用于所有轻型应用：负载锁，电子显微镜，质谱和其他分析仪器。