技术参数

测量行程：300mm×200mm (X×Y)

工件限高：200mm (Z)

玻璃台尺寸：340 mm×240 mm

示值系统：采用怡信Easson 0.01um光栅尺

分辨率：0.01μm

示值精度：E≤（2.0 L/200）um (L单位:mm)（量标准依据ISO1036-1）

载物台尺寸：460 mm×360 mm

控制系统：怡信高配控制系统

导轨丝杆：丝杆采用台湾研磨级丝杆，速度快运作平稳，线轨为怡信Easson精密线轨

操作方式：多功能控制手柄、软件编程、自动检测

影像系统：130万工业级数字高清网络相机

物镜：精密多段定倍PMS/普密斯镜头。

光学放大倍率：0.7×-4.5×。

照明系统：软件内控，采用40路大光源照射，增强影像界限，减少杂光影响，降低人为和产品带来的不确定性。

量测软件： 美国Rational Vue gao精度影像测量软件

工作机台：gao精度花岗岩平台

机台承重：30kg

整机重量：280 kg

整机尺寸：1350 mm×800 mm×1700 mm

电源：AC 220±5V、50Hz

使用环境：温度 18-22℃、±1℃；湿度30%-80%；震动15Hz以下＜0.001g。