异质结的设备厂商主要为国外企业，关键设备PECVD更是掌握在梅耶博格、应材等企业手中。2016年以来，理想、钧石、捷佳玮创、迈为、金辰股份等企业在异质结设备制造上不断取得突破，国产异质结设备逐步得到完善。光伏薄膜电池用靶材主要为方形板状，纯度要求一般在99.99%（4N）以上，光伏领域对靶材的使用主要是薄膜电池和HIT光伏电池。

如今，常用的有电子回旋共振(ecr）型微波等离子体溅射。MOCVD系统是制造激光器、LED、光电元件、功率/射频器件和太阳能电池的关键设备之一。印度太阳能公司发起2.5GW光伏项目招标！薄膜太阳能电池AZO靶材项目光伏投资预算达51亿元。印度太阳能公司（SECI）发起全球投标

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