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真空运动平台

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北京星微自动化科技有限公司
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英国AML超高真空/真空高低温/真空耐辐射位移台-LTX系列具有很高的刚性和精度,使用特殊专利性处理的交叉滚子导轨,非常适合于偏载的应用,并且通过金刚石校正的导螺杆、精密研磨的消间隙螺母、超高真空电机、超高真空兼容的材料以及特殊传动装置-间隙可忽略不计从而达到平滑精密运动。可以直接搭建XYZ)可根据要求定制;

适用于真空度:1×10??Pa,工作环境温度:-65/-196℃~+200℃,耐辐照的总吸收剂量:1×10?Gy(三项可选)

规格

单位

LTXL   /   LTXL-LS   /    LTXL-E

LTXH   /   LTXH-LS   /   LTXH-E

行程

mm

25/55/85/100/125/150/175/200

整步分别率

μm

5

1

速度

mm/s

15

4

推荐真空环境中速度

mm/s

2

0.8

重复定位精度

μm

1

0.2

水平负载能力

kg

50

负载力矩

Nm

<20

轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A

kg

3

10

间隙(采用消间隙技术)

μm

忽略不计

转动, 俯仰 & 偏载 (无负载

μrad

<25

Roll Compliance

μrad/Nm

5

Pitch & Yaw Compliance

μrad/Nm

2

直线度

μm

<1.3μm / 100mm

工作环境温度

-65℃/-196oC ~ +175oC

适用于真空度

mBar

1 x 10-10mbar

耐辐射总剂量 Gy 1 x 106Gy
烘烤温度 °C 200℃
润滑方式 可选 超高真空润滑脂/固体润滑

MTBF-5kg负载,30%占空比

小时

15000

10000

订单型号
LTXL-xxx xxx表示有效行程,标准平台(无限位,无光栅尺)
LTXL-xxx-LS xxx表示有效行程,LS表示增加前后2个真空限位开关
LTXL-xxx-E
xxx表示有效行程,E表示增加真空光栅尺及读数头
LTXH-xxx xxx表示有效行程,标准平台(无限位,无光栅尺)
LTXH-xxx-LS xxx表示有效行程,LS表示增加前后2个真空限位开关
LTXH-xxx-E xxx表示有效行程,E表示增加真空光栅尺及读数头
订购时请一定核对好型号所表示的定义及对应产品尺寸

推荐单轴驱动器/多轴控制器:

1,型号:VD2(单轴基本型脉冲方向驱动器,客户需要有自己的上位机/控制卡/脉冲发生器)

2,型号:SMD3(AML-单轴控制型驱动器,可进行编程,同时具备VD2功能,可顺序控制16轴)

3,型号:RS?C?(XIVI-单轴控制型驱动器,可进行编程,同时具备VD2功能,可顺序控制16轴)

4,型号:GUC-LAN / SMD210(2~16轴控制器,可进行复杂的联动控制编程)


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