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靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业,随着消费电子等终端应用的飞速发展,高纯度溅射靶材的市场销售额日益扩大。中国及亚太地区靶材的需求占有世界70%以上的市场份额。研究用大量不同的沉积技术用来沉积生长各种薄膜。其中靶材是制作薄膜的关键,靶材品质的好坏对薄膜的意义重大。
磁控膜玻璃出现脱膜现象几大原因:原片存放因素,玻璃表面越新鲜,表面活性越大,与膜层的结合力越强,反之则差。使用存放期过长的玻璃,由于玻璃表面霉变和附着的污物会大量增加,而且附着力很强,清洗环节很难清除掉,这就造成膜层与基片的结合力大大降低,从而导致脱膜。水质的好坏对于镀膜是至关重要的,连接水处理设备和清洗机水箱的管道应定期吹扫清洗。因为管道中若残留不流动的水时间久了,会滋生细菌、藻类,在使用时会带到水箱里,造成镀膜不牢。