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旋转硅磷合金靶材硅掺磷靶材硅磷靶材的参数(UVTM)

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广州市尤特新材料有限公司
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平板显示器件都要用到各种类型的薄膜,没有薄膜技术就没有平板显示器件。平板显示器多由金属电极、透明导电极、绝缘层、发光层组成,为了保证大面积膜层的均匀性,提高生产率和降低成本,几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜,其所使用的PVD镀膜材料主要为溅射靶材,平板显示器的很多性能如分辨率、透光率等都与溅射薄膜的性能密切相关。

平板显示行业主要在显示面板和触控屏面板两个产品生产环节使PVD镀膜材料。其中,平板显示面板的生产工艺中,玻璃基板要经过多次溅射镀膜形成ITO玻璃。然后再经过镀膜,加工组装用于生产LCD面板、PDP面板及OLED面板等。触控屏的生产,则还需将ITO玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极。



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