四甲基氢氧化铵（TMAH)

英文名称：Tetramethylammonium Hydroxide

英文别名：TMAH

CAS号：75-59-2

分子式：C4H13NO

分子量：91.15

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本品为无色结晶（常含三、五等结晶水），极易吸潮，在空气中能迅速吸收二氧化碳，130℃时分解为甲纯和三甲安，通常使用有10％、25％水（或醇）溶液和含结晶水化合物。有机墙碱，极谱试验支持液；电子工业光刻胶刻蚀剂；有机硅行业中，自消除碱催化剂及其它。

四甲基氢氧化铵的制法:离子膜电解法

检测项目 测定方法（CH3）4NOH （CH3）4NOH·5H2O

外观  目测  无色液体  白色晶体

主含,% 酸碱滴定法 24.5～25.5  ≥99.2

色度（Hazen）  色度仪  ≤5  ≤5

氯离子,%  莫尔法  ≤0.02  ≤0.05

碳酸根，%  酸碱滴定法  ≤0.1  ≤0.2

K, ppm  ICP-AES  ≤0.5  ≤1

Na, ppm  ICP-AES  ≤0.5  ≤1

Ca, ppm  ICP-AES  ≤0.5  ≤1

Mg, ppm  ICP-AES  ≤0.5   ≤1

Fe, ppm  ICP-AES  ≤0.5  ≤1

灼烧残渣(260℃),%  热烘箱法  -----   ≤0.02

颗粒 (≥0.5um)  激光散射法  ≤100个/ml  -----

用途：

在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，本甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等 的催化剂；

在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；

在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；

在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。

优点： 它具有墙碱性，在不超过分解点的温度下稳定。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”，在分析中可用于极谱试及用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。