IMI的技术总监SangInLee博士说：““表面修改与分子加入处理”(SUMMIT)工艺是一种新工艺，可以增强硅表面和SiN薄膜等高应力薄膜之间的附着力。与IMI的专有表面处理技术相结合，SUMMIT工艺可以提供更好的粒子性能和比石英及SiC炉更长的清洗间隔期(MTBC)，从而提高IMI的硅热场的生产效率与性能。”该技术的生产价值评估正在多个客户所在地进行，与IMI的战略营销伙伴TokyoElectron的联合评估也在同步进行中。