简介

5822i离子风机的精巧设计是配合高端自动化制程设备内紧密的空间条件，和严格的静电防控要求，尤其适用于硬盘制造和半导体后段封测工业。它能维持±3 V 的离子平衡，又可接连外置回馈系统以达至±1 V 的 效能。内置的离子平衡自动修正系统，能确保目标对象在精准控制中，减少维修次数和降低操作成本。配置的气流定向器，无须更多的空间，也能把精准平衡的离子直接吹到目标。

特点

●±3 V 或更好的离子平衡 (配合选配的外接回馈系统能达至±1 V)

●设备监控接口和声响报警

●外置控制盒

●符合洁净度 ISO 14644-1 Class 4

优点

●直送吹风设计能改善离子吹送和静电控制

●对产品错误能作出快速反应

●允许更弹性的安装位置，又能维持效能

●适合在高要求的微污染控制环境使用

选配的回馈系统

5822i离子风机的选配外接感应器，可接连Novx Process Monitor 7000系列，Novx 被动检测系统3352系列，和Novx主动检测系统3362系列，作出检测和自动调整离子平衡。把天线放到目标位置，信号会回馈到 5822i 的控制线路，以达至和维持离子平衡在±1 V 或更好的效能。

定向气流

气流定向器叠加在风机上，把气流直接吹向目标，就算在比较远的工作距离，也可避免离子分散和互相结合的问题，维持优越的消散时间。