产品介绍
产品实拍
技术参数
企业介绍
区熔装置:由伺服电机、减速机、线性模组和连接块组成,带动线圈沿着石英管上下移动,速度可调节,实现区熔目的。
定向凝固装置:从石英管底部密封法兰处引入,带动密封结构,留有热偶接口,由步进电机、减速机、线性模组和连接块带动坩埚实现上下升降目的,实现定向凝固功能。
保护气氛装置:石英管底部密封法兰留有充气接口,带阀门和进气接口,石英管顶部密封法兰留有出气接口与阀门,防止气压过高损坏元件
测温装置:从定向凝固移动管中接入,可直接跟石墨坩埚接触,测量石墨坩埚温度,并能根据温度手动调节高频电源的输出功率。
支架及操作台装置:采用型材与板材拼接而成,人性化设计,操作方便,占地空间小。
可视化控制系统:采用PLC+触摸屏控制整套系统,实现可视化操作,操作直观方便。还可实时记录各种实验数据并下载到PC端,方便用户调整工艺数据。
设备用途
悬浮区熔单晶炉用于悬浮区熔提纯与悬浮单晶生长的装置。主要用于区熔硅的提纯和单晶生长,已用于工业生产半导体材料。结构由两部分组成,即炉室和机械传动部分以及电气控制柜和高频发生器部分。炉室为一不锈钢水套式直立容器,可抽高真空或通入流动氩气。
售后说明
1、出厂安装调试;安装好后客户可直接使用。
2、设备出厂安装调试验收后质量保修期为12个月份,终身维修,一年后收取适当费用。
3、服务期内如用户有报修通知,2小时内电话指导,如电话指导用户不能自选排除即在1个工作日内安排人员。