性能优势：

下照式设计：可以快速方便地定位对焦样品。

无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，膜厚仪，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

精密微型滑轨：快速定位样品。

EFP先进算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。