X/Y/Z测量行程

600╳800╳200mm

Z轴行程

调焦行程200mm,可定制加高至400mm

XY轴基座

000级济南青大理石

仪器底座

000级济南青大理石

玻璃台面尺寸

680╳880mm

玻璃台承重

30kg

传动型式

台湾上银P级精密线性导轨

台湾上银C5研磨级滚珠丝杆

日本NSK原装进口轴承

手持式移动摇杆操作，可切换快速移动

金属贴片光学尺

X/Y轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

Z轴分辨率：0.0005mm（0.5μm，可选配0.1μm）

X/Y线性测量精度(μm)

≤3+L/200

机台定位精度(μm)

≤3

重复精度(μm)

≤3

电机

日本松下高性能双闭环CNC伺服系统

X轴采用日本松下高性能400W伺服电机，双重闭环控制系统

Y轴采用日本松下高性能750W伺服电机，双重闭环控制系统

Z轴采用日本松下高性能(带刹车)100W伺服电机，双重闭环控制系统

摄像机

日本STC 1/2″彩色高清工业相机

测量软件

自主研发全自动影像软件

（测量数据可按客户报表格式导出或导入QMS系统）

镜头

全自动变倍镜头（可选配同轴光、探针、镭射头）

光学放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率21-128X

放大倍率为近似值，与显示器的尺寸及分辨率相关，

可通过选配0.5X/2X物镜，实现放大倍率10.5-69X/42-276X

光源系统

表面光源：为5环8区LED冷光源，256级独立调节

轮廓光源：LED绿色冷光源，256级独立调节

仪器外形尺寸（L*W*H）

1750╳1350╳1800mm

仪器重量（kg）

1800kg（保证机台高速运行时的稳定性）

电源

AC220V/50HZ　AC110V/60HZ

电脑

Intel I5高端主机

显示器

27寸

质保

整机质保1年

影像视频卡

SV-2000E