分析元素:16(S)-U(92)；

4.2.2.2 X射线产生装置及靶材:50W光管，W靶, 高压5～50KV；电流最高可达到1mA；

4.2.2.3准直孔规格:Ф0.2mm，可定制；

4.2.2.4电机配置:步进电机；

4.2.2.5元素检出限:镀金最低达 0.005um,其他元素最低达0.01um；

4.2.2.6 应用范围:一次可同时分析最多24个元素，最多可测五层镀层。