工

作

台

X/Y轴行程

500mm ╳ 400mm

Z轴行程

调焦行程200mm，工作距离90mm

大理石

台面尺寸

660mm ╳ 560mm

玻璃台面尺寸

550mm ╳ 450mm

传动型式

X/Y轴：采用高精度交叉传动导轨+丝杆；

Z轴：采用直线导轨+丝杆；

进口轴承

光学尺分辨率(mm)

X/Y/Z轴：0.001

测量线性精度(μm)

≤3+L/200

重复性精度(μm)

≤3

驱动电机

高性能CNC伺服系统

摄像机

1/3″高清彩色工业相机

测量软件

自主研发软件，编程操作简单，易上手

（测量数据可按客户报表格式导出或导入QMS系统）

镜头

全自动变倍镜头

光学放大倍率0.7-4.5X

影像放大倍率20-128X

可选配

同轴光、探针、镭射

0.5X物镜、2X物镜

光源系统

表面光源：为八区LED冷光源、寿命长、亮度可分区调节

底光源：LED白色冷光源、寿命长、亮度可调

仪器外形尺寸（L*W*H）

1050mm ╳ 820mm ╳ 1650mm

仪器重量

240kg