实际应用：

主要适用于物理(化学)气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜、离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀膜系统。可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散泵返油。

工作原理：

在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。

产品特点：

降温迅速，可达-145℃；

快速吸附水蒸气、油蒸汽、缩短抽真空时间60%~95%；

90秒热气除霜，快速回温；

控制系统采用触摸屏+西门子PLC，更显档次；

备有本地控制，远程控制接口，与任何真空系统兼容，可接入客户镀膜机自动控制系统；

待机长期连续工作；

一台设备可设计双路负载输出；

可设计双路负载出口和回口温度显示、本机温度显示；

进口品牌超低温专用压缩机，各种控制阀门采用进口部件，运行平稳可靠；

压缩机压力超高保护，排气温度超高保护；

安装方便，系统改造简便；

断电，水温超高报警，保护；

结构小巧，放置方便；

免费提供新机试用；

整机质保3年

产品参数：

型  号                                               FS-1100D12       FS-1100D16     FS-1100D16L     FS-1100D18     FS-1100D18L
功率（KW）                                           10                     14                      14                        18                     18
制冷量（W）（-100℃）               2000                   3000                 3000                    4000                4000
电  源                                                                                       380V，50HZ
抽速L/S                                                149200             238200               238200                372500          282000
预冷时间（min）                                  30
除霜时间（min）                                  ≤3                        ≤3                   ≤3                         ≤4                  ≤4
再降温时间（min）                               ≤3                        ≤3                   ≤3                         ≤3                  ≤3
低温管表面积（㎡）                                1                        1.8                    1.5                         2.5                   2
低温管规格                                           20m                    38m              双路15m                    50m            双路20m
冷却方式                                                                              水冷，水温≤30℃
冷水流量（t/h）                                   1.6                        2.5                    2.5                          3                    3
冷水接口尺寸（mm）                           16                         16                     16                         19                 19
需冷水机功率（HP）                             5                            8                      8                           10                 10
适用油泵直径（mm）                         ≤800                     ≤900               ≤600                1000或1200        ≤800

适用真空腔室直径（mm）                  ≤1300                   ≤1500             ≤1000                    ≤1800           ≤1500