等离子光氧化一体机的前段主要处理含有油性气体或者烟气，后段主要处理voc有机废气的气味。

等离子区工作原理：当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。（在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安 全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。）

光氧催化区工作原理：通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。O3强催化氧化剂进行废气催化氧化, 可有效地杀灭细菌，将有毒有害物质破坏且改变成为低分子无害物质。在C波段激光催化剂涂层产生活性，强化催化氧化作用。在分解过程中产生高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV O2→O- O*(活性氧)O O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有强的氧化作用，对恶臭气体及其它异味有强的清除效果。O3也为强催化氧化剂进行废气催化氧化, 裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，达到脱臭及杀灭菌的目的。

对于等离子光氧一体机的应用也比较广泛，主要运用在造纸业、制药行业、橡胶轮胎或者橡胶密封条生产车间、垃圾处理、皮革行业、印刷行业、香料生产业、饲料厂及药生产厂等多个行业中的有毒有害气体、恶臭和异味的处理，等离子氧一体机对部分行业的净化效率在95左右，是目前市场上的废气净化设备。