退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60%。

【产品描述】

陶瓷纤维模块是用对应材质的陶瓷纤维针刺毯，按纤维组件结构、尺寸，在专用机械上加工而成。在加工过程中，均保持一定比例的压缩量，保证陶瓷纤维模块壁衬砌筑完毕后，，陶瓷纤维模块在不同方向的膨胀，使陶瓷纤维模块之间相互挤成一个无缝隙的整体，陶瓷纤维模块均能通过各种形式的锚固件直接固定于工业窑炉炉壳钢板锚固钉上。

 【产品特性】

陶瓷纤维模块的应用不仅仅在炉壁上，也为终用户带来了如下好处：

● 处在耐火棉背面的多种形式的锚固件使得耐火棉的安装既可采用兵列式排列方式也可采用拼花地板式排列方式；

● 耐火棉毯在解除捆扎后会在不同方向上相互挤紧，不产生缝隙；

● 有弹性的耐火棉毯可以抵抗机械外力；

● 耐火棉毯的弹性可以弥补炉壳的变形，使得组件之间不产生缝隙；

● 由于重量轻，作为隔热材料时的吸热很少；

● 低导热性能带来高的节能效果；

● 具有抵抗任何热冲击的能力；

● 衬体无需烘干和养护，所以安装好以后便可立即投入使用；

● 锚固系统远离组件的热面，使得金属锚固件处在相对低的温度下。

 【安装方法】

炉板除锈 → 将模块螺栓焊接在炉壁板上 → 取出模块 → 将模块导向杆拧到螺杆的小头上 → 将模块沿中心孔穿过导向杆靠到炉板上 → 采用专用板手将螺母拧紧到螺杆上→ 拧下导向杆 → 依次进行其他模块的安装 → 抽出模块中心塑料管 → 拆开模块捆扎带→ 压缩安装补偿毯 → 安装下一排折叠模块。

 【安装要求】

(1)锚固钉焊接位置应准确，严格控制误差；

(2)先将背衬层安装完毕，再施工纤维模块；

(3)先安装炉顶模块再安装炉墙；

(4)炉墙模块的安装应从底部开始向上安装；

(5)模块的排列方式多采用同向"兵列式"排列，安装完一排模块后应按要求压缩铺衬补偿毯；

(6)顶与墙及墙与墙的链接处应压缩铺衬补偿毯。

【表面修整】

(1)折叠模块安装完成后应仔细检查，大于5mm的缝隙应填塞补偿毯;

(2)纤维毯填塞完毕后，用方木板将折叠模块表面拍平。

【典型应用】

● 石油化工行业窑炉的炉衬绝热；

● 冶金行业窑炉的炉衬绝热；

● 陶瓷、玻璃等建材行业窑炉的炉衬绝热；

● 热处理行业额热处理炉的炉衬绝热；

● 其他工业窑炉的炉衬。