CMP工艺介绍及用滤芯
CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光—是一个化学腐蚀和机械摩擦的结合。CMP技术所采用的设备及消耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。抛光机、抛光浆料和抛光垫是CMP工艺的3大关键要素，其性能和相互匹配决定CMP能达到的表面平整水平。其工艺过程中抛光浆料颗粒控制在0.5μm以内，恒水公司提供的系列过滤器及折叠滤芯可提供您有效的过滤解决方案。囊式滤芯又称抛弃式过滤器；深层滤芯。

囊式滤芯

囊式滤芯，称为抛弃式过滤器，外壳采用进口聚丙烯材质，里面滤芯为小型折叠滤芯一起焊接而成，为一体式过滤器，无任何粘合剂和化学物质。过滤器体积小，过滤介质损失小，不用安装滤芯，软管连接即可过滤。广泛应用于实验室小量过滤，生物制药液体过滤，光学镜片单体过滤。

技术规格

主要特点

    体积小、过滤介质损失小

    一体式、安装方便

    滤芯100%进行完整性测试

    使用无需清洗外壳安全性高

    节约使用成本

材料结构

滤材: PP、PES、PTFE、PVDF、N6、N66、MCE

壳体: 聚丙烯

  密封技术: 热熔焊接

操作条件

   工作温度：≤60℃

    可耐最大压差：4 bar (21℃)

灭菌方法：121℃/30min蒸汽灭菌

过滤精度(um)

0.05、0.10、0.22、0.45、1.00、5.00

有效过滤面积

2.5"≥1200cm2

5.0"≥2200cm2

滤芯尺寸

长度（内芯）: 2.5〞、5 〞

进出口方式

 螺纹式：1/4"NPT、3/8"NPT 、1/2"NPT

 插管式：1/4"宝塔接头、3/8"宝塔接头、1/2"宝塔接头

 快装式：0.5"卡盘接头、1.5"卡盘接头

应用领域

电子行业：光学镜片单体过滤，油墨过滤。

制药行业：小流量液体过滤，溶剂样品过滤。