AGV-SPO高性能单轴点振镜

关键词：单轴振镜/aerotech激光振镜/高性能振镜

 

Aerotech的AGV-SPO单枢轴检流计扫描仪可替代传统的两镜振镜扫描仪。AGV-SPO源自流行的AGV-HPO扫描仪，可为关键的激光微加工应用提供更大的视野并减少点畸变。

 

设计特点

· 比传统的2D扫描仪更大的视野，简化了较大零件的处理

· 在整个视场中将光斑失真降至最低，从而将质量的激光加工零件的加工偏差降至最低

· 空气和水冷却选件可提供热稳定性并提高长期精度

· 适用于各种激光波长的多种镜面处理选择

模型		AGV14SPO
光学性能
光束孔径		14毫米
扫描角度		±20°
光束位移		35毫米
抖动（最小增量运动）（2）		RMS 0.3微弧度
准确性		50微弧度pk-pk
重复性（3）		均方根值 0.6 μrad
增益误差		0.05弧度
非线性度		0.005％
动态表现
追踪误差		0微秒
峰值加速度（4,5）		60,000 m / s 2
连续加速（4，6）		20,000 m / s 2
定位速度（4）		50 m /秒
处理速度（4、7、8）		5 m / s5
跳跃和稳定时间，移动1毫米（ 4，9 ）		700微秒
稳定性
长期漂移	偏移量	10 μrad / 12小时
		15微弧度/ 24小时
	获得	10 ppm / 24小时
热漂移	偏移量	20微弧度/°C
	获得	1 ppm /℃
机械规格

 

大视野，光斑失真最小

独特的光学设计可有效控制光束入射光瞳，使其与X和Y扫描仪运动保持一致，从而增加了扫描仪系统的有效数值孔径。这种设计直接为给定的焦距提供了更大的视野，并减少了整个工作区域上的光斑失真。这些优势意味着AGV-SPO能够更快，更一致地处理更大的零件。

设计配置

AGV-SPO可提供多种光学涂层和聚焦光学器件，以支持各种常用的激光波长和焦距。为了满足其他需求，Aerotech可以根据要求为AGV-SPO提供定制的光学元件和光学安装功能。AGV-SPO可以配置有风冷镜，水冷电机或两者。这些主动冷却功能有助于在存在由激光引起的热干扰以及剧烈运动的情况下，保持工作平面的准确性。

高级编程功能

AGV-SPO充分利用了Aerotech的所有先进运动和位置同步输出（PSO）功能，这些功能是为具有传统振镜和伺服平台的激光加工应用开发的。诸如“加速限制”之类的轮廓功能可用于自动减小急转弯或小半径时的速度，以程度地减小过冲。可以基于带有PSO的反射镜的位置反馈来触发激光，以确保随着扫描仪速度的改变，一致的光斑重叠。

Aerotech的无限视场（IFOV）功能无缝地结合了伺服和扫描仪的运动，从而在整个伺服平台的整个行程范围内扩展了扫描仪的标记能力，从而消除了在更传统的移动-曝光-重复过程中可能发生的缝合错误。