Aerotech QNP-L系列单轴线性压电纳米定位平台

关键词：压电平台/纳米平台/压电陶瓷精密平台

 

Aerotech的QNP?系列压电纳米定位平台以紧凑，高刚度的封装提供了亚纳米级的性能。多种行程范围（100 μm至600 μm）和反馈选项使其成为从显微镜到光学对准的应用的理想解决方案。

紧凑包装中的高质量

QNP压电平台受精密挠曲的指导，该挠曲使用有限元分析进行了优化，以确保高刚度和较长的设备寿命。最终的设计提供了出色的刚度和谐振频率，从而实现了高处理量和快速的闭环响应。此外，这些平台被设计为提供出色的几何性能（直线度和角度误差），同时最小化了整体平台的封装尺寸。

高分辨率和定位精度

 

所有QNP压电级均采用独特的电容传感器设计，提供闭环反馈选项，可实现亚纳米分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位滑架的输出，从而实现出色的精度和可重复性。

超精密控制

与Aerotech的Q系列控制器和驱动器配合使用时，QNP压电纳米定位台具有亚纳米级的定位分辨率和就位稳定性（抖动）以及高定位带宽。Aerotech的Dynamic Controls Toolbox和Motion Designer软件包等软件选件提供了许多先进而易于使用的工具，例如Learning Control，Harmonic Cancellation和Command Shaping，从而改善了跟踪误差并缩短了分步和稳定时间。

使用Aerotech的FlashConfig功能可实现自动参数和校准识别。平台会被自动识别，所有操作参数（包括轴校准数据）都将上载到控制器中，以确保安全，准确和真正的“即插即用”操作。

特点

?  行程范围从100 μm至600 μm

?  设备寿命长

?  高精度，无摩擦的挠性导向系统

?  借助直接计量电容传感器，可实现高达0.007％的出色定位分辨率和线性度

?  与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容性

?  开环和真空版本

 
XY双轴搭配方案

更多产品信息联系：于先生 18510085666（同微信）