北京高控科技有限公司
Aerotech ABL系列气浮轴承直驱直线运动平台，拥有超高精度的定位功能，精度在0.2~0.5um之间。
设计特点
专为高性能扫描和检查而设计
所有空气轴承表面上的有效空气预载
线性编码器反馈提供亚纳米分辨率
高刚性，可承受重载，并具有出色的几何性能
行程达500毫米
前沿制造业，特别是在半导体和数据存储行业中，要求的定位公差超出了传统滚珠丝杠和机械轴承定位系统的能力。ABL1500空气轴承台具有完全主动的预紧力，极高的刚度和出色的几何特性，专门为满足这些需求而设计。
空气轴承设计，实现高动态性能
ABL1500在垂直和水平表面上均带有空气预载功能。相对的薄膜压力可保持轴承的名义间隙公差。除了大的空气轴承表面可以将负载分配到较大的表面积上之外，这种设计还可以使平台具有出色的刚度，非常适合重载或偏载。
专有的制造技术导致了具有无法超越的几何特征的阶段。空气轴承具有固有的平均效应，可限度地提高性能。薄膜将填充小的表面空隙并允许其他不规则性。此特性可产生出色的螺距，滚动，偏航，直线度和平坦度规格。
直线电机驱动
此阶段的驱动力是Aerotech的BLMC系列无刷线性伺服电机。该设计体现了Aerotech作为电机制造商的悠久历史和经验。BLMC使用无铁力，这意味着零齿槽效应和无吸引力，从而实现了无与伦比的运动平稳性。BLMC能够产生高的力和速度，代表了功率和性能的结合。
零维护
我们的完全非接触式空气轴承，非接触式线性电动机驱动器和非接触式反馈设备确保了Aerotech设备所期望的高性能水平下的多年免维护运行。由于运动元件之间没有机械接触，所以随着时间的流逝，ABL1500不会遭受磨损或性能下降。使用寿命几乎是无限的，并且由于没有润滑-只有清洁，干燥的气体-空气轴承是洁净室和医疗应用的理想选择。
电缆管理
我们精心优化电缆弯曲半径，以确保多年无故障运行。万一发生故障，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速简便，停机时间最少。我们将所有客户要求的电缆，空气软管等都包含在CMS捆绑包中，以便于集成到最终系统中。两端完全连接，可轻松集成到客户的机器中。
技术指标
机械规格
模型 |
ABL1500-050 |
ABL1500-100 |
ABL1500-200 |
||
旅行 |
50毫米 |
100毫米 |
200毫米 |
||
准确性（1） |
E1 |
已校准 |
±0.3微米 |
±0.3微米 |
±0.5微米 |
标准 |
±2.0微米 |
±4.0微米 |
±8.0微米 |
||
E3 |
已校准 |
±0.2微米 |
±0.2微米 |
±0.4微米 |
|
标准 |
±1.0微米 |
±2.0微米 |
±5.0微米 |
||
重复性 （双向）（1） |
E1 |
±0.1微米 |
±0.2微米 |
||
E3 |
±0.05微米 |
±0.05微米 |
±0.1微米 |
||
直线度（1） |
±0.25微米 |
±0.4微米 |
±0.5微米 |
||
平面度（1） |
±0.25微米 |
±0.4微米 |
±0.5微米 |
||
沥青 |
±0.5弧秒 |
±1弧秒 |
±2弧秒 |
||
滚 |
±0.5弧秒 |
±1弧秒 |
±2弧秒 |
||
偏航 |
±0.5弧秒 |
±1弧秒 |
±2弧秒 |
||
速度 |
2 m /秒 |
||||
加速度 |
2克（空载） |
||||
力（连续） |
93.6 N |
||||
载重量（2） |
卧式 |
35公斤 |
|||
侧 |
25公斤 |
||||
运营压力 |
80 psi±5 psig |
||||
耗气量 |
24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） |
||||
移动质量（空载） |
5.1公斤 |
||||
舞台质量 |
14.7公斤 |
16.0公斤 |
18.6公斤 |
||
材料 |
铝 |
||||
MTBF（平均无故障时间） |
30,000小时 |
||||
通过每个阶段的认证。
列出了轴上加载的轴方向。
规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。
为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。
供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 μm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。
对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。
模型 |
ABL1500-300 |
ABL1500-400 |
ABL1500-500 |
||
旅行 |
300毫米 |
400毫米 |
500毫米 |
||
准确性（1） |
E1 |
已校准 |
±0.5微米 |
±0.6微米 |
±0.6微米 |
标准 |
±12.0微米 |
±16.0微米 |
±20.0微米 |
||
E3 |
已校准 |
±0.4微米 |
±0.5微米 |
±0.5微米 |
|
标准 |
±5.0微米 |
±5.0微米 |
±5.0微米 |
||
重复性 （双向）（1） |
E1 |
±0.2微米 |
±0.3微米 |
||
E3 |
±0.15微米 |
±0.2微米 |
|||
直线度（1） |
±0.75微米 |
±1.5微米 |
±2.0微米 |
||
平面度（1） |
±0.75微米 |
±1.5微米 |
±2.0微米 |
||
沥青 |
±3弧秒 |
±4弧秒 |
±5弧秒 |
||
滚 |
±3弧秒 |
±4弧秒 |
±5弧秒 |
||
偏航 |
±3弧秒 |
±4弧秒 |
±5弧秒 |
||
速度 |
2 m /秒 |
||||
加速度 |
2克（空载） |
||||
力（连续） |
93.6 N |
||||
载重量（2） |
卧式 |
35公斤 |
|||
侧 |
25公斤 |
||||
运营压力 |
80 psi±5 psig |
||||
耗气量 |
24-30 SLPM @ 551 kPa（0.85-1.06 SCFM @ 5.51巴） |
||||
移动质量（空载） |
5.1公斤 |
||||
舞台质量 |
21.3公斤 |
23.9公斤 |
26.5公斤 |
||
材料 |
铝 |
||||
MTBF（平均无故障时间） |
30,000小时 |
||||
通过每个阶段的认证。
列出了轴上加载的轴方向。
规格适用于在桌面上方25 mm处测量的单轴系统。多轴系统的性能取决于有效载荷和工作点。有关多轴或非标准应用，请咨询工厂。
为了防止空气轴承承受负压，建议在运动控制器/放大器的ESTOP输入上连接一个在线压力开关。
供气必须清洁，干燥至0°F露点并过滤至0.25 μm或更高；建议使用纯度为99.9％的氮气。
对于XY配置，上轴行程为200 mm。如果上轴行程大于200 mm但等于或小于500 mm，则需要ABL1500WB作为下轴。
ABL系列定位平台优点：
?几何性能卓越的气浮导轨
?1.2 m x 1.2 m 的行程
?光柵尺或激光回馈干涉仪
?亚微米定位精度
?XY 和 XYZ 集成系统
?无槽直接驱动电动机
同时我们还提供其他型号的纳米级直线、旋转高精密运动平台，比如 pro系列，ANT95系列等等。
更多产品信息请联系销售工程师：于工 18510085666
QQ:2799935409
