Aerotech AGV5D五轴激光微加工扫描仪

关键词：五轴激光加工扫描仪/
五轴激光加工振镜

Aerotech GV5D五轴激光微加工进动扫描仪是最快，最灵活和最精确的解决方案，用于生成具有完全定义的横截面的精确孔，轮廓槽和其他几何形状。它使您能够控制从激光到扫描头，再到工件定位的整个精密微加工过程。

设计特点

· 适用于多种商业飞秒激光器

· 选择与1030 nm，1064 nm，515 nm或532 nm波长兼容的光学元件

· 水和空气冷却功能可在一段时间内实现的稳定性和一致的性能

· 以的激光加工精度产生精确的特征，甚至包括比扫描仪视野更大的特征

· 用户友好的功能简化了与机器，系统或子系统的集成

· 辅助气压高达200 psig，以改善高纵横比特征的处理

· AGV5D规格

模型	AGV5D
光学规格
激光波长（1）	1030纳米，1064纳米 515纳米，532纳米
激光脉冲能量（2）	400 μJ（λ= 1030 nm，1064 nm） 350 μJ（λ= 515 nm，532 nm）
最小激光脉冲长度	250 fs （3）
平均功率	≤100瓦
物镜焦距	55毫米
最小聚焦点直径（4）	15 μm（λ= 1030 nm，1064 nm） 7 μm（λ= 515 nm，532 nm）
输入光束直径（1 / e 2）	建议 2.3毫米，2.8毫米（5）
偏振	圆形或线性（6）
机械规格
轴数	5共：点定位（X，Y）；聚焦（Z）; 进动（A，B）
视场（7）	?2毫米
Z聚焦范围	2毫米（电动） 4毫米（手动调节）
距喷嘴的工作距离	高达4毫米（8）
进动角（7）	±9° （18°全锥角）
定位分辨率	40 nm（X，Y） 30 nm（Z） 0.004弧度（A，B）
定位重复性	0.1 μm（X，Y） 0.1 μm（Z） 0.15 mrad（A，B）
孔直径精度	<0.2微米
进动频率（9）	高达800 Hz
对焦速度	130毫米/秒
吹扫气（10）	氮气，5 psig
工艺辅助气体	用户可选，200 psig
冷却	水冷马达和风冷光学元件（11）
弥撒	31公斤
电气规格
驱动系统	直驱无刷电机
反馈	非接触式光学编码器
母线电压	±40伏直流
限位开关	光学限位开关和软件限位
家用开关	在中心

 

关键应用

· 医疗器械制造

· 介入性心血管植入物

· 下壶

· 微电子加工

· 探针卡

· 微孔

· 汽车零部件制造

· 喷油嘴

· 激光微加工系统

5个自由度的光束操纵

Aerotech的AGV5D五轴激光微加工进动扫描仪以五个自由度（DOF）操纵激光束：

· 点在视场内的位置（2-DOF）

· 点聚焦深度（1-DOF）

· 进动角（2-DOF）

AGV5D可产生极其精确的孔，槽和用户定义的几何形状，同时保持对横截面的精确控制。

一个控制器实现全运动

通过使用Aerotech控制器与其他运动轴协调，AGV5D提供了独特的功能，可以生成比其视场更大的特征，同时保持的处理质量。无论运动平台是由伺服电机台还是步进电机台，压电纳米定位器或六脚架组成，Aerotech都是将进动扫描仪与其他运动轴配合使用的供应商，从而实现了的激光加工精度。

基于G代码的编程界面使您能够控制并锻造自己的轨迹。另外，具有参数特征和几何形状的已定义函数可用于简化编程。用户可访问的诊断工具可加速过程开发和优化。

简单灵活的集成

AGV5D是最灵活的多轴激光微加工解决方案。外壳正面和背面的安装接口以及多向光束输入简化了输入光束的传送。外壳下侧的其他运动学安装特征允许AGV5D的可重复拆卸和重新安装，从而程度地减少了重新对准输入光束的需要。可选的光束对准模块提供了一种简单的机制，用户可以通过该机制来设置和调整输入光束对准和偏振。

AGV5D还为用户提供了极大的灵活性，因为它很容易与各种各样的市售飞秒激光器集成在一起。通过可调节的软件参数使之成为可能，从而允许用户补偿激光特性，例如光束发散度，直径和质量，这些特性通常在激光源之间有所不同。通过一些相对快速和简单的调整，用户可以使用最适合其工艺要求的激光器来设置AGV5D，并可以轻松地将一个激光器换成另一个激光器。

针对工业用途进行了优化

像所有Aerotech产品一样，AGV5D旨在在生产环境中实现长期耐用性。水和空气冷却机制可调节AGV5D内的温度梯度，从而减少热漂移误差。外壳是密封的，并包含空气净化装置，以帮助使光学组件免受污染，从而大大降低了损坏的风险。

您的一站式精密运动控制合作伙伴

自1970年以来，世界各地的客户在整个过程的每个步骤中都依赖Aerotech值得信赖的支持：从系统布局和设计到开箱即用的设置和支持，以使您的过程不断发展并保持运行。

Aerotech是为各种运动挑战提供解决方案的供应商。从精密机械和机电设备到进的振镜扫描仪和光处理技术，再到功能强大，用户友好的控制器软件和硬件，Aerotech可以实现更高的精度和质量，因为所有组件都可以无缝集成并且可以通过一个控制器进行协调。