型号

2010

3020

4030

行程（mm）

X

200

300

400

Y

100

200

300

Z

200

200

200

外形尺寸

546x690x1043

625x777x1080

729x900x1080

工作台大小（mm）

360x260

460x360

560x460

工作台承重（kg）

15kg

20kg

30kg

机台重量

200kg

280kg

350kg

光栅尺分辨率

0.5 μm

测量精度

XY(3.0 L/200)μm

控制方式

新型控制器

摄像机

TM-C597E

光源

轮廓光

LED冷光源，亮度连续可调

表面光

LED冷光源，亮度连续可调

总放大倍率

30x-225x

选配功能

触发测头(TESASTAR)

自动变倍镜头(七海自制专利)

激光测头(KEYENCE)

环形灯(专利三度空间灯光照明系统)

工作距离

90mm

电源

220 V ± 10% ，50 Hz（用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆）

工作环境

20℃ ± 2℃，温度变化＜2℃/hr，湿度45% ~ 75%

振动＜0.002g，低于15Hz

房间温度(温控间)  

18～22°C

温度梯度(时间)

1°C /h

温度梯度(时间)

2°C /24h

温度梯度(空间)

1°C /m

湿度要求：

空气相对湿度  

45-75％

震动要求：

场地防震动要求

震动＜0.002g，＜15Hz

电源要求：

电压

220 V ± 10%

频率

50 Hz

电流

15 A

用电设备要求接地可靠：接地电阻小于4欧姆