真空氣相沉積設備是一種用於電子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優異的電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧的薄膜塗層。

 廣泛應用於：航空航太、電路板、LED 、磁性材料、感測器、矽橡膠、密封件、醫療器械、珍貴文物等領域產品的防水封裝與保護工藝中。