FM系列XYZ复合机械手

FM系列XYZ复合精密机械手利用两个波纹管-大型ID短波纹管可提供XY运动，而较小的ID波纹管可进行Z轴移动-与单个大型ID波纹管系统相比，可节省大量资金。

FM系列将FB机械手系列的XY平台与EMT精密转换器的Z平台结合在一起。FM系列可与水平安装套件一起使用，该套件具有定制的平衡弹簧，以保持“仪器”的位置。Z阶段可以与XY阶段分离。

FM系列复合精密机械手是使用两个波纹管的XYZ单元。XY波纹管的内径为2.5“，3”和4“，是标准的，内径可以达到6.3” ID。这些单元的X和Y行程为±0.5“或±1”。它们可以提供最大36“或更大的Z行程，Z型波纹管ID为1.39”和1.87“。 

非旋转管状探针也可以在Z级基座的底部配备稳定的线性轴承。这导致探头组件更稳定，有效的“杠杆臂”更短。

该探头选件提供了一条无心的，空心的空心不锈钢管，该管穿过操纵器波纹管的中心延伸。该探头通过双面法兰安装在行进法兰上，可以轻松拆卸以进行设备安装。该管由安装在Z行驶系统底部的不锈钢线性轴承稳定。该轴承大大提高了探头的稳定性。

此外，可以将差动泵送的旋转密封件安装到这些机械手。它们为客户的设备提供了更大的旋转自由度。可以修改探针轴承，以允许探针极旋转以及极轴线性移动。该系统提供了一种出色的公用事业交付方法，而无需在真空中进行公用事业管线运动。

技术指标

X和Y轴

• ±0.5“或±1” X和Y行程，圆形，标准

• 预装千分尺级耦合，

• 0.0001“微米划分  大的鼓式千分尺（公制千分尺可选）

• 所有XY轴承可调

Z轴

• 2“至36” Z行程

• 变速箱Acme驱动器，0.100英寸/圈（10圈/英寸）

• 0.001英寸分隔，预装丝杠和蜗杆轴

• 位置锁定

• 扩展背架

基础法兰

• 6“ OD UHV基础法兰

游动法兰

• 2.75“外径行进法兰

特征

• 整个过程中均采用硬化不锈钢轴承和导向杆

• 最高烘烤温度：200°C

精确

轴	千分尺 刻度	解析度	重复性	反冲	调整
ž	0.0005“	<0.0005“	0.0005“	0.0007英寸	旋钮调整
XY	0.0001“	<0.0001“	<0.00015“	<0.00015“	大千分尺