我们的RCCS系列紧凑型e-Gun™源在安装和维修期间可保护发射器免受损坏和短路。H 2 O冷却系统增强了热传递，从而提高了速率稳定性并防止了对电子束源的损坏。此紧凑型源设计为易于安装。

特征

• 3 kW（最大-5 kV）电子枪电源

• 完全屏蔽的发射极

• 兼容高真空（HV）和超高真空（UHV）

• 低放气

• 适用于薄膜和其他高精度沉积应用的高纯度蒸发。

• 无光束扫描，专为金属材料设计

• 信号源百叶窗（气动或手动）和高压馈通

• 直接更换K单元端口法兰

• 坩埚观看通道

• 紧凑型气源可转变为棒料气源

技术数据

• 安装法兰：4.5“ OD CF法兰或6” OD CF法兰

• 坩埚容量：2.24 cc或4 cc

• 灯丝类型：W线

• 最高烘烤温度：230°C（446°F）

• 工作压力：低于5 x 10-5托是最佳操作的理想选择

• 电子束偏转：270°

• 高压：-5 kV

• 光束电压：4,000 VDC

• 束电流：0-750 mA连续可变

• H2O要求：一（1）gpm（最小值）@ 16°C（60°F）

• 压差：最小25 psi。