电弧等离子体沉积系统

主要应用领域：

1、制备新金属化合物，或制备氧化物和氮化物薄膜（氧气和氮气氛围）；

2、制备非晶碳，纳米钻石以及碳纳米管的纳米颗粒；

3、形成新的纳米颗粒催化剂（废气催化剂，挥发性有机化合物分解催化剂，光催化剂，燃料电池电极催化剂，制氢催化剂）；

4、用热电材料靶材制备热电效应薄膜。

技术原理：

1、在触发电极上加载高电压后，电容中的电荷充到阴极（靶材）上；

2、真空中的阳极和阴极（靶材）间，电子形成了蠕缓放电，并产生放电回路，靶材被加热并形成等离子体；

3、通过磁场控制等离子体照射到基底上，形成薄膜或纳米颗粒。

等离子体：物质由分子或原子组成，而原子则由带正电的原子核和核外带有负电的电子所组成。带负电的电子以一定的轨道不停地围绕着原子核运动。在zui外层运动着的电子在外力的作用下（如受热或电磁场的作用）脱离自己固定的轨道而形成自由电子。这样，原来中性的原子或分子失去电子后就成为带正电的正离子，得到电子的原子或分子就成为带负电的负离子。所以把由电子、正离子、负离子，中性的分子或原子所组成的而且其中粒子的正电荷与负电荷的总数相等的集合体称之谓等离子体。

等离子体由于存在自由电子和其它带电粒子而带来了系列新的特征而区别于固、液、气态作为物质的一种独立形态而存在，所以把等离子体称为物质第四态。在我们生产或生活中常见的焊接电弧日光灯、闪电，以及可控热核反应均属于等离子体。火焰也是一种弱等离子体。

材料适用性：

APD适用于元素周期表中大部分高导电性金属，合金以及半导体。所用原料为直径10mmX17mm长圆柱体或管状体，且电阻率小于0.01 ohm.cm。下面的元素周期表显示了可制备的材料，绿色代表完全适用，黄色代表在一定条件下适用。

设备特点：

1. 系统可以通过调节放电电容选择纳米颗粒直径在1.5nm到6nm范围内。

2. 只要靶材是导电材料，系统就可以将其等离子体化。（电阻率小于0.01ohm.cm）。