皕赫国际贸易（上海）有限公司
Idonus基于高功率LED和高档微透镜阵列的基础上提出了一个革命性的紫外光照系统。
这个产品应用于光刻胶曝光工艺，适用多种基材。光照质量保证了高的同质性的临界尺寸和整个面上的侧壁角。实际上，由于使用了一种完全远心的光学，我们的设计提供了完美的稳定光照条件，即整个表面的高同质性的强度和低的发散角。
可以根据用户需求进行产品开发定制，可以极大缩短您的想法变成产品的时间。
LED BENEFITS优点
目前随着LED技术的发展，紫外LED表现出了比汞光源更大的优势。
● 长寿命LED，测试不需要耗材
● 不需要每天校准，即刻稳定光照
● 有限的发热，这降低了空气冷却费用
● 低功率消耗
● 光源仅仅在曝光时开启（不需要快门）
● 用户可以根据需求进行照射系统定制。
也可以按照用户旧机器的尺寸设计照射系统，以替代旧的机器上的汞灯照射系统。
TYPICAL PERFORMANCES 典型参数
分辨率 ：0.5 μm
光学功率 ：20 to 200 mW/cm2
曝光区域 ：50x50 to 300x300 mm2
光学辐照不均匀性 ： ±2%
最大发散角(FWHM) ：±1.5°to 3°
波长 ：365 / 385 / 405 nm
光谱半宽幅 ：12 nm
设备尺寸 ： 65x30x30 cm3
总功率 ：20 to 1200 W
| EXAMPLE SYSTEM SPECIFICATIONS 系统规格举例 可能的曝光系统的不同配置如下表所示，系统可以根据您的需要设计。 |
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| System Type 系统型号 | A | B | C |
| Resolution [um] 分辨率 | 2 | 1 | 1 |
| Optical power [mW/cm2] 光学功率 | 42 | 152 | 165 |
| Exposition area [mm2] 曝光面积 | 80x80 | 100x100 | 300x300 |
Optical irradiance inhomogeneity [%] 光照幅度不均匀性 |
±2 | ±2 | ±2 |
| Max divergence angle [°] (Full Width Half Maximum) 最大发散角（半宽幅） |
±2.5° | ±1.5° | ±1.5° |
| Wavelength [nm] 波长 | 405 | 365 | 385 |
| Spectrum half width [nm] 光谱半宽幅 | 12 | 12 | 12 |
| System size [cm] 系统尺寸 | 65x30x30 | 65x30x30 | 1100x60x60 |
| Power consumption [W] 功耗 | 20 | 180 | 1200 |
产品选型：
| Characteristics \ System type | UV-EXP150R | UV-EXP150S | UV-EXP200S | UV-EXP300S | UV-EXP600S |
| Useful exposure area曝光区域 | Ø 150 mm | 150 × 150 mm2 | 200 × 200 mm2 | 300 × 300 mm2 | 600 × 600 mm2 |
| Wavelength 波长 (single or mixed) |
365 nm and/or 385 nm / 395 nm / 405 nm all models can be configured with UV-LEDs with multiple wavelength peaks |
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| Irradiance 辐射度 (@385/395/405 nm) |
50 mW/cm2 | 50 mW/cm2 | 30 mW/cm2 | 17 mW/cm2 | 30 mW/cm2 multiple LEDs |
| Irradiance 辐射度 (@365 nm) |
40 mW/cm2 | 40 mW/cm2 | 25 mW/cm2 | 12 mW/cm2 | 20 mW/cm2 multiple LEDs |
Irradiance inhomogeneity 辐照度不均匀性 |
±3% | ±3% | ±3% | ±3% | ±3% |
| Max. collimation angle最大的准直角度 (±α, FWHM) |
±1.8° | ±1.8° | ±1.4° | ±1.0° | ±2.0° |
| Working Distance (WD) *工作距离 | 350 mm | 300 mm | 400 mm | 300 mm | 300 mm |
| Ext. dim. H × W × D (lamphouse only) |
610 × 302 × 244 mm |
607 × 352 × 294 mm | 728 × 412 × 354 mm | 936 × 560 × 504 mm | 1500 × 1100 × 900 mm |
| Ext. dim. H × W × D (complete system) |
1000 × 480 × 330 mm | 960 × 500 × 420 mm | 1170 × 530 × 520 mm | 1270 × 670 × 670 mm | ** |
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