英特格 光罩盒和运输箱

英特格(Entegris)提供一系列光罩运输盒和运输箱，其设计是用于保护，存储和运输贵重的光罩。 我们的产品提供具有成本效益的设计和极高的污染防护等优势。

光罩组件的设计可提供光罩坚固的保护以及精确的自动化界面，提高产量并使突发性停机状况大幅降低. 英特格(Entegris)所提供的一系列光罩套件，主要是为用户提供低成本高效益之设计，并结合防污染之极高等级的优势。
EUV pod光罩传送盒与生产设备的连接比如测量工具，扫描仪和储料器等是符合SEMI?标准E152。英特格2018开发出的EUV 1010 光罩盒已率先成为全世界第一个获得ASML认证，可用于NXE:3400B及未来更先进机台的光罩盒产品。

先进的光罩处理系统在存储和运送中可以保护好您价值不菲的光罩 英特格(Entegris)提供了一系列光罩传送盒Reticle SMIF Pod，其设计是在保护，存储和运输时能有效地保护有价值的微影光罩。 Entegris光罩盒提供了具备低成本高效益和极高程度的污染防护的设计优点。