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苏州EVOTECH专注于高精度测量专用运动平台的开发、设计和生产，公司的核心产品—EVO系列测量平台，针对性匹配Keyence多种精密测量模块，基于光学、机械、电气和软件的一体化集成，实现了大尺寸样品的多种形貌特征的便捷测量。

EVO系列测量平台可配置多种光电测量模块，集成二维平面图形、三维形貌特征以及表面粗糙度等多种测量功能。测量特征尺寸覆盖了亚微米级至厘米级的宽泛范围。广泛应用于PCB印制电路板、HDI电路板、平板显示、光学薄膜和半导体光刻等生产和研发领域。

项目	部件	基本参数	补充说明
指定配套	VHX显微镜	镜头Z20T，带镜头固定圈VHX-J20T。主机 VHX7000，	该部件由甲方提供，请确认型号。
包括部件	1.XY运动平台	电动。 XY行程200mm150mm。 XY轴直线度优于15um。 XY轴垂直度优于20um。台面尺寸250mm200mm，采用黑色阳极氧化铝合金板材。	步进电机滚珠丝杆驱动，配有光栅尺检测位置。光栅尺分辨率1um，线性度优于10um。最小定位步距≤10um。最大移动速度25mm/s 。平台移动，可由USB手柄操作，速度多级可调。也可由软件界面的按钮操作。
	2 倾斜观察	手动。范围-60度~90度。	可在任意角度锁死，稳定性好。
	3 镜头升降	电动。升降范围≥40mm	步进电机梯形丝杆驱动。可锁紧防抖。
	4 测量软件	实现跨视场测量，精度优于20um。功能包括：单点XY坐标记录；2点距离；1点到直线（2点）的距离；3点确定圆心和半径等。	软件安装在VHX主机上。使用方法：用户移动鼠标指向屏幕上的特征位置，软件记录各个位置，进行相关测量计算。