一、利用特制的高能高臭氧UV紫外线光束照射恶臭气体，改变恶臭气体,在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。 

二、利用高能高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。
UV＋O2→O- O＊(活性氧)O O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对有机物具有极强的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味清除效果。
三、恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能UV紫外线光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水，再通过排风管道排出室外。
四、利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭目的
等离子光氧一体机净化设备是一种专门去除有毒有害气体及恶臭气体的一种装置。它具有高效率、运行成本低、设备占地面积小，自重轻、无任何机械动作，无噪音等特点，等离子光解一体机净化设备净化效率在95%以上。是目前市场上佳的废气净化设备。
五、适用范围：等离子光解一体机净化设备主要运用于油漆喷涂、造纸页、制药业、轮胎及橡胶生产厂、汽车生产、污水处理、污泥废气处理、垃圾处理废气、皮革业、印刷厂、香料生产业、饲料及饲养场、等等，多个领域的有毒有害气体、异味和恶臭处理。涉及气体物质多达900多种。