德国马尔圆度仪MMQ200

高精度的形状测量仪, 由半自动调心调平回转工作台,电动垂直
测量轴Z轴和电动水平测量轴X轴组成进行自动测量. 
园度测量单元C-轴 
园度误差(P V) : 0.03um 0.0006um/mm 测量高度 
园度误差(P或V) : 0.015um 0.0003um/mm 测量高度 
轴向跳动(P V) : 0.04um 0.0006um/mm 测量半径 
轴向跳动(P或V) : 0.02um 0.0003um/mm 测量半径 
工作台直径: 160mm 
工作台中心承载: 200N 
工作台X,Y方向轴线中心可调范围 :  /- 2.5mm 
工作台水平可调范围 :  /- 1° 
主轴速度 : 1-10 rpm 
垂直测量单元 Z-轴 
测量高度 : 250mm 
直线度误差 : 0.15um/100mm 
全程直线度误差: 0.3 um 
Z轴与C轴间平行度误差: 0.5 um 
测量速度 : 0.5-20 mm/s 
定位速度 : 0.5-100 mm/s 
测头零位调节: 机械 ±30um 
水平直线测量单元 X-轴 
测量长度 :150 mm 
R轴与C轴垂直度误差: 1 um 
测量速度: 0.5-20 mm/s 
定位速度: 0.5-30 mm/s 
测头零位调节: 机械 ±30 um 
电子 ±1% of 测量范围