下照式设计

快速方便的定位各种形状的样品，满足一切测试所需。

无损变焦检测

拥有手动变焦功能，可对各种异形凹槽件进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

微聚焦射线装置

可测试各微小的部件，最小检测面积可达0.002mm2。

高效率的接收器

在检测0.01mm2以下的样品时，几秒钟也可达到稳定性。

精密微型滑轨

精密的手动移动平台，快速精准定位所需检测的样品。

EFP先进算法软件

可检测单镀层，多镀层，多元合金，甚至对于同种元素在不同层的厚度检测也能分析，包括轻金属镀层，非金属镀层，达克罗，Nip镀层测试，包括Ni与P的比例也均可检测。

准直器和滤光片

多种准直器和滤光片电动切换，满足各种测试方式的应用。

新一代高压电源和X光管

性能稳定可靠，高达50W的功率实现更高的测试效率。

高效的散热系统

对流通风过滤式风冷，仪器即便全天候开启，都可保持恒温恒效。

防护装置

恒压恒流快门式光闸，拥有高压电源紧急自锁功能，带给您全方位的防护。

外形尺寸

550mm*480mm*470mm（长*宽*高）

样品仓尺寸

500mm*360mm*215mm（长*宽*高）

仪器重量

45KG

供电电源

交流220±5V

最大功率

330W

环境温度

15℃-30℃

环境相对湿度

≤70%

测量元素范围

CI(17)-U(92)

涂镀层分析范围

各种元素及有机物

分析软件

EFP，可同时分析23层镀层，24种元素，不同层有相同元素和有机物厚度也可分析

测试程式添加

1862条测试程式免费提供，也可编辑新程式

软件操作

人性化封闭软件，自动提示校正和步骤，避免操作错误

X射线装置

升压发射一体高分子聚合式W靶微聚焦加强型射线管

接收器

日本东芝正比计数管，窗口面积≥150mm2

射线准直系统

垂直光路交换装置搭配黄金准直器

视频观测光路系统

垂直光路交换装置搭载100mm变焦镜头

测样读取开启方式

恒压恒流快门式光闸

滤光片

铝、无、镍

准直器

ø0.05mm；ø0.1mm；ø0.2mm；ø0.5mm；四准直器任选一种

最近测距光斑扩散度

10%

最小测量面积

约0.002mm2

测量距离

具有距离补偿功能，可改变测量距离，能测量凹凸异形样品，变焦距离0-30mm（特殊要求可以升级到90mm）

样品观察

1/2.5彩色CCD，全局快门，有效像素：1280*960，变焦功能

对焦方式

高敏感镜头（无需增加其他辅助传感器），手动对焦

放大倍数

光学38-46X，数字放大40-200倍

样品台尺寸

500mm*360mm

样品可放置区域

480mm*320mm*205mm（C型开槽设计，特殊测试时可以超出区域放置样品）

外部尺寸

540mm*430mm*475mm

移动方式

高精密XY手动滑轨

可移动范围

40mm*50mm

电气参数

电源：交流220V 50HZ  功耗：最大120W（不包括计算机）

冷却系统

对流通道过滤式风冷

保养升级模块

软硬件模块化

环境要求

使用时温度：10℃-40℃ 存储和运输时温度：0℃-50℃ 空气相对湿度：≤80%

重量

约45KG

随机标准片

十二元素片、Ni/Fe、Au/Ni/Cu

其他附件

电脑一套、喷墨打印机、附件箱